真空阀门

2018-10-23 点击数：757

真空阀门

角阀的气体通路呈90°，密封面采用氟胶圈密封方式，通过波纹管实现真空中的直线驱动。该阀门体积小、安装方便，主要用于真空系统中的排气管路连接，特别是和机械泵的连接。

有时也需要能直接连在超高真空腔体上，用做气体导入或差分抽排气的CF法兰角阀。能满足这种功能的角阀是全金属角阀，内部密封面采用无氧铜和不锈钢刀口的密封组合，可耐300℃以上的高温烘烤。

阀门示意图

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