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(一)真空计
真空计(VacuumGauge),也称真空表、真空规管,是测量真空度或低气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制。
真空计一般有以下几种:电容薄膜规、皮拉尼真空计、电阻规、热电偶规、热传导规、热阴极电离规和冷阴极电离规。
2018年10月20日星期六
昆山帕斯卡真空技术有限公司