汉钟干式螺杆真空泵在等离子清洗设备中的真空应用（二）

汉钟干式螺杆真空泵在等离子清洗设备中的真空应用（二）

真空等离子需要真空获得较好的真空泵将真空腔体抽到pa级水平，通常会采用真空度较好的双级油旋片真空泵和干式螺杆真空机组，等离子设备在第一次抽真空时需要将腔体中的气体尽可能的抽完，残留的气体量越少越好，通常时抽到10Pa以内为最好。在腔体中通入气体时，根据通入的气体量和需要维持的真空度选用合适抽速的真空泵，如果真空泵抽速不够，腔体内很难维持工作需要的真空度。真空泵在维持腔体真空度的同时，需要将通入的工艺气体和产品产生的杂质抽走，所以要根据通入的气体类型选择不同的真空泵，如果通入的气体有腐蚀性，需要选用干泵，如果选用油泵真空泵油和真空泵内部会被腐蚀掉。