汉钟干式螺杆真空泵在等离子清洗设备中的真空应用（一）

汉钟干式螺杆真空泵在等离子清洗设备中的真空应用（一）

等离子体是物质的一种状态，物质除了常见的固态、液态、气态三态，还有第四态，就是等离子体。如果对气态物质施加一定的能量就能使之成为等离子状态。

在真空腔体中，通过射频电源在一定压力情况下起辉产生高能量的无序等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。

等离子清洗设备需要一套真空系统，只有真空系统内真空度达到一定压力时才能辉光放电。真空系统由真空泵、真空管道、真空阀门、真空腔体和真空计组成。

真空泵可以采用油泵和干泵，真空泵的极限真空度要低于1Pa较为理想，真空泵较好的极限真空度才能保证清洗腔体内到达50Pa左右的工作压力，电源在50Pa左右才能大量放电产生等离子体。真空管道采用不锈钢焊接，管道和腔体之间安装高真空挡板阀，用于控制真空的通断。真空腔体可以采用不锈钢焊接，或者铝加工腔体，真空腔体采用内焊，腔体真空漏率极小可<1x10-9Pa·L/s。