太阳能光伏工艺-ALD

太阳能光伏工艺-ALD

ALD是原子层沉积薄膜钝化技术，适用于多种高效晶硅太阳能电池生产线的新建、改造和升级, 可以将太阳能电池转换效率进一步提升1%以上，RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。

ALD在工艺过程中产生的粉尘量比较大，真空泵需要不断抽ALD设备腔体内的气体，真空泵卡死现象比较严重，一般进口真空泵由于结构的问题，2-3个就会卡死，保养费非常高。

汉钟在ALD有一定丰富经验，在原有的技术上加以改进，远远延长真空泵的使用寿命，延长真空泵保养周期，给客户节省真空泵的使用成本。

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昆山帕斯卡真空技术有限公司