真空电极
真空电极的作用是将电流引入真空系统真空腔室中的连接件,以达到导线与腔室之间绝缘和密封的条件。
真空电极材料种类常见为玻璃、陶瓷金属封接和真空用低压高压型真空电极。
真空电极连接方式可分为焊接、CF、KF。
真空电极规格示意图:
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