汉钟干式螺杆真空泵在韩国ALD设备上的应用

汉钟干式螺杆真空泵在韩国ALD设备上的应用

ALD原子层沉积，又称原子层外延，是一种基于有序、表面自限制性反应的化学气相沉积薄膜的方法。

ALD要求，必需具有一定的饱和蒸汽压、且在一定范围内具有热稳定性。最好是液态和气态。必需在表面可化学吸收或者和表面物质快速的发生反应。无自分解状况。可以提供原子层沉积反应的激活能量。帮助清除单原子层形成过程中的多余反应物和副产品。

目前汉钟干式螺杆真空大量应用于ALD设备，真空泵排粉尘能力优于进口的品牌的真空泵，真空泵保养间隔周期更长。产品稳定性更好。

下图是汉钟干式在国内大型电池片厂中实际应用案例，应用效果非常好。