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●排氣路徑短,減少反應物沉積
幹式螺旋真空泵相較於其他形式的真空泵,因氣體於泵浦內的傳輸路徑最短,最不易產生反應物沉積的現象。此外,由於螺旋轉子在抽氣過程中本身已具傳輸粉塵之機構,即使有反應物沉積也能很順利的排出泵浦。
●線形密封性佳,泵浦性能最優
專利轉子密封線形,轉子密封性佳,轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果。由於嚙合間隙較大,泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死,轉子也較不易因磨耗而需更換。
●結構簡單,故障率低,維修容易
螺旋式真空泵因只需利用一對轉子互相嚙合達到密封效果,結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計,降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純,拆解維修也較容易,因此能縮短維修時程,降低維修費用。
●微電腦操作,遠端監控,保護周全(選配)
微電腦操控器提供真空泵浦最簡易的操作方式並能顯示泵浦完整的運轉狀態,方便使用者對泵浦應用狀況進行調整,在泵浦產生問題前進行預防保養。遠端監控系統能提供使用者方便的監控工具,使用者不需到現場即能查詢泵浦之運轉狀況。
昆山帕斯卡真空技术有限公司
2017年11月19日