中国集成电路装备产业初步规模

国产设备与国际先进技术水平的差距大幅缩短至2-3年。

在北京、上海、沈阳形成了装备的骨干企业，部分企业形成超过十年的研发积累。

客户的接受度在增强，部分国产12英寸设备在生产线上实现批量应用。

常州瑞择微电子的光照清洗设备在12英寸生产线上应用，工艺从湿法向干法转变，预计很快将应用于市场。

                                                                                               昆山帕斯卡真空技术有限公司

                                                                                                     2017年12月10日