真空退火炉的应用真空泵

真空退火炉的应用真空泵

真空退火炉的应用领域有离子注入/接触退火；快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同气体氛围环境下使用；SiAu, SiAl, SiMo合金化；低介电材料；晶体化，致密化；太阳能电池片键合；电阻烧结其他热工艺需求等等...

快速真空退火炉的系统组成：

主要由炉体、炉胆、炉盖及抽真空装置和温控系统组成。

推荐真空泵：岩田ISP系列涡旋真空泵。其特点是高能效/环保/高可靠性/节能等等优点。

                      昆山帕斯卡真空技术有限公司

                                         制作人：李韦来

                                         日期：2021/1/24