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真空技术

真空退火炉的应用真空泵

2021-04-12 点击数:903

真空退火炉的应用真空泵

真空退火炉的应用领域有离子注入/接触退火;快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同气体氛围环境下使用;SiAu, SiAl, SiMo合金化;低介电材料;晶体化,致密化;太阳能电池片键合;电阻烧结其他热工艺需求等等...

快速真空退火炉的系统组成:

主要由炉体、炉胆、炉盖及抽真空装置和温控系统组成。

推荐真空泵:岩田ISP系列涡旋真空泵。其特点是高能效/环保/高可靠性/节能等等优点。

                      昆山帕斯卡真空技术有限公司

                                         制作人:李韦来

                                         日期:2021/1/24

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