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真空技术

低温泵

2021-04-12 点击数:866

低温泵

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

在低温泵内设有由液氦制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力,从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。

低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。

低温泵的优点:

(1) 低温泵在获取洁净和无油真空方面,具有其他产品无法相比的优势。


(2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方面具有较大抽速;

(3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速;

(4)在要求大抽速的真空设备中,低温泵是最经济的。

(5)低温泵是基于低温吸附而工作的,不需要其他电子材料,不会有波动;

(6)在真空中无任何运动部件,高稳定性,也不会带来密封问题;

(7)低温泵的安装无任何方向要求;

(8)低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。


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