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选真空泵注意事项
1. 针对被抽气体选择相应的泵。如气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应考虑在泵的进气管路安装辅助设备,如冷凝器、除尘器和对应的涂层,如易燃易爆气体需要加装防爆电机,
2. 真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。交真空泵抽数尽量大于要求抽数。
3. 正确地真空机组。罗茨泵不能在大气压下工作,需要前级泵配合使用,前级泵抽到一定真空,罗茨泵再启动。
4. 使用环境是无尘车间,尽量选择无油泵,或者真空泵放置在室外。
5. 真空泵排除的油蒸汽对环境的影响。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。
6. 真空泵极限真空度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
7. 最后要知道客户腔体容积,使用的真空度,要求抽真空泵的时间,有这些参数我们可以计算使用多大抽数的真空泵,再结合上面的选型要求,选择合适的真空泵。