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试验型等离子清洗设备--无油涡旋真空泵
等离子清洗设备需要一套真空系统,来满足其工艺需要。因工艺需要提供洁净无油的真空源,小型设备可以选用岩田无油涡旋真空泵,该泵抽速分别为 50 -- 1000L/MIN,真空度范围1pa--20pa,
无油涡旋真空泵特殊的设计,使其使用方便,操作简单,无运行耗材,无需其他辅助设备及厂务条件,
低噪音和低振动使得新型 IWATA真空泵适合实验室等特定领域使用。IWATA涡旋真空泵无轴封结构并配有永久性润滑轴承,因此几乎无需维护。