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汉钟半导体真空泵PMF系列
2020-12-14
点击数：1315
汉钟半导体真空泵PMF系列
电子及半导体行业正在革命性地改变着我们的生活，让我们享受科技带来的愉悦与舒适。真空设备在电子产品及半导体设备生产过程中发挥着极为重要的作用，针对特殊的生产要求必须选择适合的真空设备。
半导体真空泵行业特点
半导体用真空泵对产品可靠性、定制化、能源效率要求较高。
1.可靠性：半导体用真空泵直接关系到芯片的性能、良率，对产品可靠性有较高要求，工作过程需要不断保养，可靠性高的产品能减少维修次数，降低客户使用成本。
2.定制化：在半导体制造领域，由于每条生产线工况都不相同，客户对解决方案和产品的需求更加定制化。
3.能源效率：在Fab能源消耗中，真空产品占整个能源消耗的20%，提高能源效率能够减少客户的能源消耗。
汉钟PMF系列特点：
l 最低的电能消耗
l 体积小，重量轻
l 节省安装空间
l 半导体干净制程的最佳选择
技术参数
|
Model |
Unit |
PMF100 |
PMF120 |
PMF612 |
|
|
Pumping Speed |
L/min |
1666 |
1933 |
10000 |
|
|
m³/hr |
100 |
116 |
600 |
||
|
cfm |
59 |
69 |
353 |
||
|
Ultimate Pressure |
Torr |
≦7.5×10-3 |
≦7.5×10-3 |
≦7.5×10-4 |
|
|
mbar |
≦1×10-2 |
≦1×10-2 |
≦1×10-3 |
||
|
Motor |
Voltage |
V |
220V/380V |
220V/380V |
220V/380V |
|
Rated Power |
Kw |
2.2 |
2.2 |
2.2+2.2 |
|
|
Connection |
Inlet |
|
NW50 |
NW50 |
ISO80 |
|
Outlet |
|
NW25 |
NW25 |
NW40 |
|
|
Cooling Water Dim. |
Pressure |
kg/cm² |
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2) |
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2) |
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2) |
|
Min.Flow |
L/min |
1 |
1 |
1 |
|
|
Temp |
℃ |
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min |
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min |
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min |
|
|
Comection |
|
RC1/4" |
RC1/4" |
RC1/4" |
|
|
L×W×H |
mm |
450×230×275 |
450×230×275 |
530×230×520 |
|
|
Weight |
kg |
60 |
60 |
120 |
|
|
Nosice |
dB |
60 |
60 |
60 |
|
|
Ultimate Pressure Power |
Kw |
0.39 |
0.44 |
0.5 |
|
上一条
耐粉尘腐蚀真空泵
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