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导热管用真空泵
导热管内部流体介质:
极低温(-273~-70℃) 氦、氩、氪、氮、甲烷
低温(-70~200℃) 氟利昂、氨、丙酮、甲醇、乙醇、庚烷、水
中温(200~500℃) 萘、Dowtherm、thermex、硫、水银
高温(500~1000℃) 铯、铷、钾、钠
极高温(>1000℃) 锂、钙、铅、铟、银
导热管用泵:
导热管生产过程中关键部分为真空封装,目前国内大部分热管生产除气台用泵多为油旋片真空泵搭配罗茨泵,这种泵组虽然价格低廉但是使用过程及使用成本偏高,需要经常更换油品,对泵的使用寿命有极大影响。因此不建议使用。
导热管最佳用真空泵为干式螺杆真空泵,鉴于导热管生产过程中有大量水汽及其它特殊液体,干式螺杆真空泵耐水汽和耐腐蚀性强,使用成本低。