太阳能光伏工艺ALD 真空泵

太阳能光伏工艺ALD 真空泵

ALD是原子层沉积薄膜钝化技术，艺过程中产生的粉尘量比较大，国内和国际上做ALD设备的不多，设备需要在很短的时间把腔体抽到一定的真空度，所以真空泵选型很大，韩国NCD用的阿尔卡特3060，这款真空泵由于结构问题很容易卡机，维修保养费用非常高，

汉钟在ALD有一定丰富经验，推出汉钟PD3652延长真空泵的使用寿命，延长真空泵保养周期，得到客户一致好评。