真空材料-真空腔体材料

真空材料-真空腔体材料

随着真空应用越来越广泛，真空腔体在制作时对材料的有一定特殊要求，主要要求如下：

1、一定的机械强度；

2、气密性好，不应是多孔结构，不能有裂缝、小孔以及能造成漏气的其它缺陷；

3、较低的出气速率和渗透速率；

4、在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸汽压要足够低；

5、化学稳定性好，不易氧化和腐蚀，不与系统中的工作介质起化学反应；

6、温度稳定性好，在一定的温度范围内能保持其真空性能及机械强度；

7、加工容易，有较好的焊接性能，加工方便、价格便宜；

常用客体材料有两大类:金属和玻璃。

金属的优点是机械强度高：容易实现高精度的加工。

玻璃的优点是：透明，便于观察设备内部情况；电绝缘；可对内部的金属零件用高频加热的方法除气；能用高频火花抢捡漏；加工方便等。玻璃的缺点是质脆易碎。

附金属的物理性能表供选型参考：