真空室水冷

真空室水冷

真空室水冷形式有两种；一种室将水光螺旋式焊接在真空室外壁，另一种式真空室外部加冷却水套，真空室热负载大时用冷却水套冷却，热负载小时用水管冷却，亦可两种形式混合使用。

由于水管冷却效果差，故此只能用在加热温度不高的情况下，在设计、安装冷却水管时，应使水管与真空腔室壁接触良好，其接触面积应尽可能扩大。

当真空腔室壁温较高时用冷却水套冷却，冷却腔的宽度由真空室的尺寸、壁的温度决定，通常取10mm~40mm直径，为保证冷却效果，冷却水应下进上出。

           a水套冷却示意              b开口水管冷却             c水管冷却  

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