真空腔室-适用材料

真空腔室

    真空室是真空设备的主要部件之一，真空设备的生产工艺过程都是在真空腔室内进行完成的，真空腔室中装有不同的部件，可以完成各种不同的工艺要求，大多数真空室都是由腔体、封头、门、冷却水套、阀门、管道等组成。

根据使用要求腔体可由筒形、圆锥形、盒型等形状。

真空腔体对材料的要求需要满足可焊性好、气密性好，对于真空度要求不高的真空室一般采用低碳钢、合金钢、铝材合铜材等。对于真空度较高的腔室一般采用不锈钢。

下图为对各类材料适用真空度参考表：