台湾汉钟精机干式螺杆真空机组成功应用于光伏行业ALD设备，大幅提升了ALD设备的运行稳定性。

2019-04-08 点击数：659

太阳能行业PERC工艺大幅提升电池片对于光能的转换率，新工艺受到市场的热捧和良好反馈，通过PERC工艺的电池片市场供不应求，于是国内太阳能厂商纷纷导入PERC工艺，提升产品的竞争力。PERC工艺需要ALD设备对电池片进行双面镀膜，和过去PECVD材料和工艺都有所不同。ALD工艺中氧化铝材料会产生更多的粉尘，所以对设备的真空系统是很大的考验。除了真空泵前的粉尘捕集，对于真空泵的耐粉尘能力也是大大提升。PECVD设备传统用多段罗茨干式真空泵组为主，由于PECVD工艺的粉尘量并不大，所以多段罗茨真空泵勉强可以使用，但是售后维修的保养也是较多，特别是经常需要更换核心部件罗茨转子。汉钟精机螺杆真空机组是采用螺杆形式的真空泵，其耐粉尘能力远远高于多段罗茨真空泵，除了常规的保养外，几乎不用更换转子，相比多段罗茨维护成本更低，稳定性更好。