在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵

在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵，才能让真空泵既能够满足工艺要求，同时又能够长期稳定的运行，延长真空泵维修维保时间，节约运行成本，保证生产设备的生产效率，保证设备产能。

在CVD、PECVD、ALD等工艺中，真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺，这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶，如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外，就容易在真空泵内沉积，堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞，需要及时下机保养和维护，否则的话就会造成真空泵的更大的损坏，但是干式泵的维护成本又比较昂贵，选择一台耐粉尘，维保周期长的真空泵是非常重要的。

昆山帕斯卡真空技术有限公司为你提供这方面的专业服务和技术支持，确保您的真空产品可以长期稳定运行。技术咨询电话1801692127