低温泵

低温泵

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

低温泵种类和结构：

低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。

立式结构：适于埋装在地下，不会受电动机热风、空气温度和日照等影响，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注头，提高有效汽蚀余量；立式结构还有利于排气，使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置，故该泵也称为立式筒型泵。

对称结构：泵的总体结构力求对称布置，以便在冷态下能均匀变形。冷头一般采用二级机构，第一级达到80K,第二级达到温度10K。

双层壳体：为了保冷方便和有利于输送危险介质，通常都制成双层壳体，内壳里面承受泵压，内外壳之间是吸入压力，这样可适当降低内壳的强度要求。外壳需做成真空夹层，已达到隔热效果。

低温泵优点：

(1)低温泵在获取洁净和无油真空方面，具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准；

(2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方面具有较大抽速；

(3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速；

(4)在要求大抽速的真空设备中，低温泵是最经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速

(5)低温泵是基于低温吸附而工作的，不需要其他电子材料，不会有波动；

(6)在真空中无任何运动部件，高稳定性，也不会带来密封问题；

(7)低温泵的安装无任何方向要求；

(8)低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。