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大部分真空泵都装有气镇装置,气镇法又称掺气法,是防止水蒸气在真空泵内凝结从而避免油污染的有效方法。
气镇的结构
当开气镇运行时,泵的极限压力会下降,泵温会升高。
合理使用气镇十分重要。以下为抽排可凝气体的“黄金法则”:
1、在做工艺以前暖泵(开气镇工作半小时)
2、工艺过程保证气镇开启
3、工艺结束后在开气镇的条件下再运行一段时间
4、在泵的耐压范围内抽排可凝气体