光伏行业应用三

PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )，等离子体增强化学的气相沉积法。

也是化学气相沉积的一种镀膜设备。PECVD广泛应用也半导体、LED、光伏等行业，用于在晶体表面形成薄膜的设备。

应用在光伏行业的PECVD分为2钟，一种是管式太阳能PECVD；一种是板式太阳能PECVD。

PECVD设备主要有5大部分组成：晶片装载区、炉体、特气柜、真空系统、控制系统。

在炉体内有石英管，石英管是镀膜的作业区域，耐高温和防反应。

每个石英管配置一组泵，泵组是有上泵和下泵组成，真空系统根据阀门的开度来调节管内的真空度。一般PECVD工作时，管内的真空度要维持在10Pa~100Pa左右。

台湾汉钟干式螺杆真空泵组为国内外PECVD设备厂商配套真空泵，产品在光伏行业内大量应用。