KAIFU水环真空机组在探针测试机台的应用

晶圆的探针台测试，需要将将检测的晶圆片固定在测试平台上，通过探针来检测晶圆的品质性能，晶圆的固定在平台上是通过真空的吸附。探针台的真空吸附的真空度在-50kpa以上，对于真空要求不是很高，但是之前一对一的配泵会对测试车间的产生很大的噪音影响，所以目前是针对机台进行系统真空的供应，通过管道将真空送到每个机台，进行晶圆的真空吸附，系统真空不会影响车间环境，另外比一对一的配泵更加节能，运行成本更低。

                                                                                          昆山帕斯卡真空技术有限公司

                                                                                                2017年12月10日