真空泵在等离子清洗的应用

等离子清洗机的机构分三个部分：控制单元，真空腔体，真空泵。

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一定真空度下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

在真空腔体里，通过射频电源在一定的真空压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面．以达到清洗目的．

等离子清洗机常用的真空有：干泵和油泵

干泵有螺杆泵和涡旋泵这两款真空泵极限真空度高1-10pa。

油泵是用双极油旋片泵极限真空能达到1pa以下