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真空技术

Hanbell 汉钟干式螺杆真空泵的发展

2016-12-15 点击数:2058

      近年来干式真空泵市场需求量非常,螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,

抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点

干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业真空获得设备,

日本在螺杆压缩机基础上,很早就研发出了真空泵的多头转子型线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、

变螺距转子型线,并在转子和机体冷却方面做了很多研究.

源于螺杆压缩机的多头转子型线起步较早,有的厂家直接用螺杆压缩机的转子型线用在真空泵上使用。日立公司很早就把

4-6头螺杆转子型线用在真空泵上,韩国LG公司的真空泵目前也使用多头转子型线,由于两啮合转子接触线的顶点不能达到阴、

阳转子气缸孔的交线,在接触线顶点和机壳的转子气缸孔之间,会形成一个空间曲边三角形,也就是泄漏三角形,气体将从压力

较高的齿间容积,泄漏至压力较低的邻近齿间容积,由于这个泄漏三角形的存在,导致多头螺杆真空泵的极限真空度较低,

加上这类转子加工难度大,需要专用机床,造价昂贵,因而逐步退出螺杆真空泵市场。为适应市场需求,各公司开始开发单头等

螺距转子型线.

台湾中正大学的冯展华教授与HANBELL汉钟精机合作,研发螺杆真空泵,并于2004年申请了专利。去年在爪式真空泵的

基础上,提出了螺杆爪式型线,给出了螺杆转子端面型线的构成,并与一般形式的螺杆真空泵型线进行了对比,增加了对极限真空

稳定性。这种型线主要在轴向泄漏(透孔)方面进行了改进,使得改进后透孔面积大大减小,真空度可以明显提高也成为了国内品牌的.

 

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