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岩田无油涡旋式真空泵
1、世界首创，ANEST IWATA制造了世界上第一台无油涡旋真空泵
2、岩田无油涡旋真空泵不会污染真空管路和腔体，也不会造成泵体周围的环境污染
3、iwata无油涡旋真空泵低振动、低噪音，性能稳定
4、无油涡旋真空泵不使用油和冷却水，可以在大气压附近连续运转，操作简单
5、岩田无油涡旋泵极限真空低，应用广泛
岩田无油涡旋真空泵应用范围
电子加速器，同步辐射光速线真空抽气
涡轮分子泵，罗茨泵等机械泵的预抽真空
真空固定
真空搬运
真空成型
真空泄漏检测
真空脱气
真空干燥
冷凝泵再生
真空包装
溅射装置
曝光装置
真空镀膜
分析仪器
回收装置
液晶注入、封装装置
|
产品名称 |
无油涡旋式真空泵 |
||||||
|
形式 |
ISP-50 |
ISP-90 |
ISP-250C |
ISP-500C |
ISPC-1000 |
||
|
设计排气速度 |
50HZ L/min |
50 |
90 |
250 |
500 |
1000 |
|
|
极限真空度 |
Pa(50hz) |
20 |
5 |
1.6 |
1 |
1 |
|
|
电机输出 |
Kw |
0.1 |
0.15 |
0.4 |
0.6 |
1.5 |
|
|
电压值 |
V |
单相 |
AC200V.230V |
200/230 |
- |
||
|
三相 |
- |
- |
200/380 |
||||
|
噪音值 |
dB(A) |
48 |
52 |
58 |
60 |
67 |
|
|
重量 |
kg |
单相 |
12 |
14 |
25 |
44 |
|
|
三相 |
|
|
23 |
38 |
60 |
||
|
泄漏量 |
Pa.m3/s |
≤1*10-7 |
≤1*10-5 |
||||
|
水蒸气处理量 |
g/day |
3(开气镇) |
5（开气镇） |
25（开气镇） |
|||
|
吸气口径 |
NW |
25 |
40 |
||||
|
排气口径 |
NW |
16 |
25 |
40 |
|||
|
冷却方式 |
|
风冷 |
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工作环境温度 |
℃ |
5-40 |
10-40 |
||||
